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Seit der Entdeckung der Mikrosäule durch Chang im Jahr 1980 ist das Interesse an miniaturisierten Mikrosäulen aufgrund ihrer vielfältigen Einsatzmöglichkeiten wie direkte E-Beam-Lithographie, kostengünstige Geräte, Niederspannungs-SEM und tragbare SEM aufgrund ihrer hohen Durchsatzleistung immens. Die kompakte Größe ermöglicht es, Mikrosäulen in Array-Form zusammenzusetzen, was die Abbildungsleistung oder den Durchsatz der Lithografie-Fähigkeit erheblich verbessert. Wir haben drei verschiedene Designs von Mikrosäulen ...